而华国因为激光技术一直领先于世界,从一开始就是使用氦-氖气体激光器。
不过从激光分辨率上来讲,氟-氪组合其实要比氦-氖组合的效果好一大截。
“是的。徐国士非常有把握,能够在短时间里,将我们现有的光刻机光源用氟-氪气体激光器替换掉......徐国士说了,氦-氖组合的最大理论制程精度只有250纳米左右。氟-氪组合的最大理论制程精度却可以达到180纳米到130纳米......小陈你上次提供的情报的参考作用确实无比巨大。”
杜庆安很是感慨地说道。
“是吗?”
陈国泰神情兴奋,却又略微有点不好意思地笑了笑。
现时期西方世界的光刻机很大可能就连氦-氖组合都还没搞明白。华国的光刻机却因为陈国泰的‘谎报军情’,居然马上就要切换为氟-氪组合了。
“徐国士所带领的研发团队的研发实力真的是太强大了!”
陈国泰禁不住发出由衷赞叹。
“确实够强大。”
杜庆安神色略微有点玩味地笑了笑。
正常情况下,徐国士即使完全确定了氟-氪气体激光这种组合的研发方向,但想要彻底研发成功,并将其应用为光刻机的光源,极大可能需要相当不短的时间,耗费极其巨大的人力和物力。
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