但是在实际上,西方世界非常可能连这个项目的影子都还没有。
“我相信咱们的研究人员不会让人失望。”
陈国泰立即含含糊糊地说道。
“但愿如此......其实就算晚于西方研究成功,也没什么大不了。至少他们以后不能在这方面卡住我们的脖子。”
牛主任油然叹息道。
“确实是这个道理......杜副部长,光刻机的情况......”
陈国泰见牛主任好像已经说完,就点了点头,看向杜副部长。
“光刻机方面,各个重要组件都在持续改进和优化......不过其中最为核心的光源部分,我们的研究人员已经取得了极为重大的进展。”
杜庆安微笑了一下,满脸自豪地说道。
“光源部分有了重大进展?这么说来,是氟-氪气体激光器要研究成功了?”
陈国泰立即眉头一挑,惊喜莫名地说道。
西方世界的光刻机目前基本还在使用高压汞灯作为光源。要到九十年代才会转换为氩-氪气体激光。
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