“......国外也是800纳米吗？小陈，实不相瞒，国内即使采用了大大优于高压汞灯的氦—氖气体激光器作为光源，最大精度也才刚刚达到800纳米......按理说，气体激光光源由于波长更加理想，最大加工精度在理论上可以达到200纳米左右......但是因为国家在精密加工上面的短板实在太明显，我们生产出的零部件精度远远不够，暂时只能达到这个程度......我们以后虽然可以在设计上继续深化，但是生产加工已经难以为继......就算不计损耗地堆积资源都不行。”
徐国士轻轻地摇了摇头，语气有点低沉，忧心忡忡地说道。
“......徐老师，根据情报，国外因为光刻机的研发需要，他们现阶段其实也开始了气体激光器的研究。如果他们研发成功，有他们的精湛精密加工技术支持，他们很快就要在光源方面赶上甚至超过我们华国。那时候，差距将更加明显。”
陈国泰略略沉默了一下，轻声说道。
他大概记得，西方世界在八十年代后期就开发出了光刻机第三代光源氟化氪准分子激光，将芯片最大加工精度一举提升到了180纳米左右。
前世的漂亮国在1988年投入首飞的B2隐形轰炸机，上面搭载的芯片就是192纳米制程。
“......是啊。国家在工业上欠缺得太多了。落下的‘课程’不知道要多久才能补完？”
徐国士油然叹息道。
“徐老师，我再给你透露一个西方光刻机研究的绝密情报。西方研发气体激光器的方向暂时是在氟化氪上面。据说氟化氪激光器的最大分辨率能够达到180纳米。他们更提出了氟化氩这个预研方向。据说氟化氩激光器的最大分辨率可以达到45纳米。我想这个消息应该对你具有一定的参考价值。”
陈国泰略微想了想，语气很是认真地对徐国士说道。
氟化氪光源是第三代光源，氟化氩是第四代。
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